瀋陽建築大學教授，博士生導師。具有近20年在英國和美國從事超精密運動控制新技術和新產品的研發經驗。精通納米和亞納米範圍的精密測量技術和位移/定位控制技術，並具有利用這些技術解決超精密運動控制和動態分析問題的豐富經驗。多年從事超精密半導體檢測技術和設備的研製工作。掌握現代掃描顯微技術（原子力顯微鏡、X射線顯微鏡），熟悉該類儀器的技術和產品的開發及套用。 具有多年在高科技公司從事技術研發，項目管理及企業管理的經驗。
基本介紹
- 中文名：須穎
- 國籍：中國
- 民族：漢族
- 職業：瀋陽建築大學教授，博士生導師
- 科研項目：納米位移定位控制技術
- 承擔單位：瀋陽建築大學
研究方向,論文及著作,科研項目,
研究方向
1 精密設備與儀器
2 超精密運動和定位控制技術
3 納米和亞納米範圍的精密測量技術
4 超精密運動和定位系統及機構設計
論文及著作
代表性論文：
[1] Y. Xu, P.D.Atherton, T. Hick, M. McConnell, and P. Rhear, Design and characterisation of an Ultra-Precision x-y Stage, Proceedings of the 1stInternational euspen Conference, 1999, Bremen, Germany
[2] Y. Xu, P.D.Atherton, P. Rhear, T. Hick and M. McConnell, Design and characterisation of nanometer precision positioning mechanisms (paper II), Proceedings of 12th ASPE Annual Meeting, 1997, Norfork, Vieginia, USA
[3] Y. Xu, P.D.Atherton T. Hick and M. McConnell, Design and characterisation of nanometer precision positioning mechanisms (paper I), Proceedings of 11th ASPE Annual Meeting, 1996, Monterey, CA, USA
[4] Y. Xu, S.T.Smith, and P.D.Atherton, A metrological scanning force microscope, Precision Engineering, Vol. 19, No 1, 1996
[5] Y. Xu and S.T.Smith, The determination of squeeze film damping in capacitance based cantilever force probes, Precision Engineering, Vol. 17, No 2, 1995, pp 94
代表性著作：
[1] T. Hick, P.D.Atherton, Y. Xu and M. McConnell, The NanoPositioning Book, Queensgate Instruments Ltd, 1997
授權專利：
（1）美國專利：Piezoelectric force motion scanner（壓電力/運動掃瞄器），美國專利號：US 6,715,336
（2）美國專利：Heavy-load nanopositioner with dual-parallel flexure design（復交鏈設計高載荷納米精度定位平台），美國專利號：US 7348709
（3）美國專利：Five Axis Compensated Rotating Stage（5 軸精度補償旋轉平台），美國專利號：US 7,535,193
科研項目
《納米位移定位控制技術和系統的研發》，國家“十二五”科技支撐計畫課題，2011.12-2015.12，承擔單位：瀋陽建築大學
